1、大量氣體和油排出時沖擊擋油板等零部件時發(fā)出的噪聲。

如果零件剛性不足，或未緊固，產(chǎn)生振動與碰撞，會使此項噪聲增大。因此擋油板不僅應(yīng)有足夠剛度并緊固，而且，在需與其他零件接觸時，利用夾橡膠的方法可避免振動引起的碰撞噪聲，并改善擋油效果。

2、薄膜真空泵內(nèi)部的噪聲

微型真空泵吸氣時，進(jìn)氣口和閥腔內(nèi)產(chǎn)生劇烈的壓力波動，氣體的壓力波動以聲波的形式從進(jìn)氣口輻射出來，形成進(jìn)氣口噪聲。排氣時氣流迅速流經(jīng)出口處產(chǎn)生聲波形成排氣口噪聲。轉(zhuǎn)速越高，壓力越大，流量越大，噪聲越大。這種噪聲無法*消除，改進(jìn)泵體設(shè)計、可以起到降噪作用。

3、旋片式真空泵排氣閥片對閥座和支持件的撞擊噪聲

吸入的氣體量大，泵的循環(huán)油量多，閥片噪聲就越大，閥的面積大，閥片噪聲也大，閥片材料也有一定影響。橡膠閥片的噪聲比鋼片或?qū)訅喊搴谩榇耍?jié)制進(jìn)油量，閥片關(guān)閉要及時，要嚴(yán)密。

4、真空干燥箱箱體內(nèi)的回聲和氣泡出現(xiàn)裂縫聲

箱體內(nèi)的回聲和氣泡破裂聲氣量增大時，此項噪聲將增大。因此，開氣鎮(zhèn)時或通大氣時此項噪聲會明顯增大。如果氣鎮(zhèn)量可調(diào)，則可合理調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)量。

5、旋片式真空泵的旋片對缸壁撞擊產(chǎn)生噪聲、泵殘存容量和排氣死隙中的壓力油的發(fā)聲。

宜采用園弧面分隔進(jìn)排氣口的結(jié)構(gòu)。用排氣導(dǎo)流槽消除死隙。

另外，真空干燥箱電機(jī)也是重要的噪聲源。